機械設計（次世代半導体検査・計測装置のプラットフォーム）／茨城勤務【N26135】〇

職務内容 【業務内容】

評価システム製品本部　評価プロダクト設計部にて、次世代半導体検査・計測装置（電子顕微鏡）の機構系設計開発にチームで取り組んでいただきます。

評価プロダクト設計部は半導体検査・計測装置の設計開発を行う評価システム製品本部の中で、プラットフォーム開発を始め、DX推進・設計効率化など製品開発部隊を様々な切り口で横ぐしで支援しております。

また、CD-SEMや光学検査装置など主に半導体向けの計測検査装置のプラットフォーム開発と、装置の生産プロセス最適化に取り組む部署になります。本求人では、プラットフォーム開発グループにて次世代半導体検査・計測装置におけるプラットフォーム開発を中心とした機構系開発に従事頂ける人材を募集します。



計測検査装置のプラットフォームは、

・ウェーハを搭載する高精度位置決めステージ

・ウェーハを搬送する真空ロボット

・大型の真空チャンバー、真空排気ポンプを組み合わせた排気ユニット

・各ユニットのレイアウト、ケーブリングを最適化した実装部

から構成されます。これらのユニットをデジタルツールを用いて解析主導による機構開発を行い、最先端の半導体検査計測装置を世界に提供していきます。

プラットフォーム開発Grでは、各ユニット開発を順次行いながら装置全体の知識と設計技術を向上させていきます。そして、ゆくゆくは組織の中核として活躍頂き、海外の半導体メーカとの協業を通じ、装置にイノベーションを与え、我々と共に社会へ貢献頂ける方を募集します。



【主な業務】

機構開発の業務は、ステージ、ロボットといったユニットごとにチーム編成を行い機構開発を進めます

（1ユニット５～８名前後）。

他部署のエンジニア（制御、ソフト、システム）、日立製作所の研究所メンバーと連携しながら、シミュレーションをメインとした要素モデルを設計します。その後、機構設計者が要素ユニットを試作し、他部署の設計者とともに評価を行った後、製品開発を行っていきます。

製品開発では、設計者だけでなく、品質保証部、サービ...